檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "濕式".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="濕式蝕刻"
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本研究主旨係探討以金屬輔助化學蝕刻(Metal-assisted Chemical Etching),結合複合式線鋸(Multi-wire Sawing)切割矽晶圓之可行性。首先以無電鍍法,在不鏽鋼…
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ㄧ維奈米結構有許多種,而其製作方式與應用方面亦有所不同,例如於太陽能電池上將使用其相當高的抗反射特性,用於電子場發射元件主要將強調其奈米結構等級的線端可以使其屏蔽效應明顯改善,而應用於感測器則有…
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近年來,軟性鋰離子系統不斷增長的需求。因此,研究具有高機械柔韌性和良好電子和鋰離子導電性的可靠電極變得至關重要。然而,傳統的幾微米厚度的銅集流體在 LIB 中佔很大比例,使得低能量密度的 LIB 的…
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本論文主要探討如何藉由擴散阻隔層的加入適時阻擋低溫下鋁擴散進入非晶矽/單晶矽異質接合界面,以求得p型背電場形成之同時亦保有高異質接合鈍化效果之目的。我們選用兩種擴散阻隔層:第一種是以5奈米厚的氧化銦…